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  • LPS140系列

    產品詳情

    · 采用有鐵芯直線電機BFM系列

    · 高速度,高加速度

    · 采用光柵尺或磁柵尺,分辨率可達0.1μm

    · 定位精度可達5μm,重復定位精度可達2μm

    · 可搭接XY平臺

    · 可安裝多個滑臺,并可分別控制

    · 單軸總長度可達4000mm


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