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  • LPS2系列平臺

    產品詳情

    采用無鐵芯直線電機BUM系列

    高速度,高加速度

    采用光柵尺或磁柵尺,分辨率可達0.1μm

    定位精度可達5μm,重復定位精度可達2μm


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